F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法 StdPbc-0419 This specification was technically approved

This specification was technically approved by the global Flat Panel Display Committee and is the direct responsibility of the North American Flat Panel Display Committee

在比較人眼與應用

SEMI MF1771-97 (Reapproved 2002) (first SEMI publication)

SEMI MF1451-92 (Reapproved 1999) (first SEMI publication)

orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2002年3月発行。

F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法 StdPbc-0419 This specification was technically approvedglobal Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org2001320063 : 316L Referenced SEMI Standards SEMI F19 Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components